氣體檢測(cè)/測漏流量(liang)計

産品時(shí)間：2025-12-02

氣體檢(jian)測/測漏流(liu)量計傳感(gan)器靈敏度(du)高,有極小(xiao)的始動流(liú)量
- 傳感器(qi)芯片采用(yong)熱質量流(liu)量計量,無(wu)需溫度壓(yā)力補🌈償,保(bao)證了傳
- 感(gǎn)器的高精(jīng)度計量
- 在(zài)單個芯片(pian)上實現了(le)多傳感器(qi)集成,使傳(chuán)感器的量(liàng)程🍓比大大(dà)提高
- 傳感(gǎn)器的零點(diǎn)穩定度高(gāo) 全量程高(gao)穩定性

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詳(xiang)細介紹

氣(qì)體檢測/測(cè)漏流量計(jì)

産品簡介(jie)：
FS4001系列小流(liú)量氣體質(zhì)量流量傳(chuan)感器是專(zhuān)門爲各類(lei)小🚶流量氣(qì)體的測量(liang)和過程控(kong)制而設計(jì)的。這一系(xì)列傳感器(qì)均采用本(ben)公司🏃🏻自主(zhǔ)研發的微(wēi)機電系統(tong)（MEMS）流量傳感(gan)芯片🔅來制(zhì)作，适用于(yú)各類清潔(jié)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shǐ)之可用于(yú)各類管徑(jing)，成本低、易(yi)🔞安裝、不需(xu)要溫度壓(ya)力補償，可(ke)替代容積(ji)式或壓差(chà)式的傳統(tong)✨流量傳感(gǎn)器。

氣體檢(jiǎn)測/測漏流(liú)量計産品(pǐn)特點：
- 傳感(gan)器靈敏度(dù)高,有極小(xiǎo)的始動流(liú)量
- 傳感器(qì)芯片采用(yòng)熱質量流(liu)量計量,無(wu)需溫度壓(yā)力補償,保(bǎo)證了傳
- 感(gǎn)器的高精(jing)度計量
- 在(zài)單個芯片(piàn)上實現了(le)多傳感器(qì)集成,使傳(chuan)感器的量(liàng)🎯程比大💃🏻大(dà)提高
- 傳感(gan)器的零點(dian)穩定度高(gao)
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全(quan)量程高精(jing)确度和優(yōu)良的重複(fú)性
- 低功耗(hào)
- 低壓損
- 響(xiang)應時間快(kuài)

主要參數(shu)：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑(jìng)	1.0	1.8	mm
zui大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量(liàng)程比	2132132132131231312100:1
精度(dù)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移	±0.12		%/oC
響(xiang)應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gōng)作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線(xiàn)性，RS232/模拟電(diàn)壓0.5~4.5Vdc
zui大流量(liàng)壓損	350	300	pa
zui大工(gong)作壓力	0.5		MPa
工(gōng)作溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工(gong)作濕度	<95%RH（無(wu)結冰、無凝(níng)露）
機械接(jiē)口	可拆式(shì)軟管接頭(tóu)
校準方式(shì)	空氣（或其(qi)他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g