氣體檢(jiǎn)測/測漏(lòu)流量計(ji)

産品時(shí)間：2025-12-15

簡要(yao)描述：

氣(qì)體檢測(cè)/測漏流(liú)量計傳(chuan)感器靈(líng)敏度高(gāo),有極小(xiao)的始動(dong)㊙️流量
- 傳(chuán)感器芯(xīn)片采用(yong)熱質量(liàng)流量計(jì)量,無需(xu)溫度壓(ya)力補償(cháng)🐇,保證了(le)傳
- 感器(qì)的高精(jīng)度計量(liàng)
- 在單個(ge)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(chéng),使傳感(gǎn)器的量(liàng)程比大(da)大提高(gao)
- 傳感器(qì)的零點(diǎn)穩定度(dù)高全量(liàng)程高穩(wen)定性

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詳細(xi)介紹

氣(qi)體檢測(ce)/測漏流(liú)量計

産(chan)品簡介(jie)：
FS4001系列小(xiao)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuán)感器是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qì)🐉體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhì)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun)采👨‍❤️‍👨用本(ben)🈲公司自(zi)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(piàn)⛹🏻‍♀️來制作(zuo)，适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封🏒裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lei)管徑🚶‍♀️，成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需🈲要溫(wēn)度壓力(li)補償，可(kě)替代容(rong)積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。

氣(qi)體檢測(ce)/測漏流(liu)量計産(chan)品特點(dian)：
- 傳感器(qì)靈敏度(dù)高,有極(ji)小的始(shi)動流量(liang)
- 傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liàng)計量,無(wú)需溫度(du)壓力補(bǔ)👉償,保☂️證(zhèng)了傳
- 感(gǎn)器的高(gāo)精度計(ji)量
- 在單(dān)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(ji)成,使傳(chuan)感器的(de)量程比(bi)大大提(tí)高
- 傳感(gǎn)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
- 全(quán)量程高(gao)穩定性(xìng)
- 全量程(cheng)高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性
- 低(di)功耗
- 低(dī)壓損
- 響(xiǎng)應時間(jian)快

主要(yào)參數：

性(xing)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
zui大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精度(du)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(líng)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shi)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
zui大流量(liang)壓損	350	300	pa
zui大(da)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝(níng)露）
機械(xiè)接口	可(kě)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu)
校準方(fāng)式	空氣(qi)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g