微小氣體流(liu)量計,MF4001氣體流(liu)量計

産品時(shí)間：2025-12-15

微小氣體流(liú)量計,MF4001氣體流(liu)量計是廣州(zhōu)迪川儀器儀(yí)🔴表有😄限公司(si)🤟專門爲各類(lei)小流量氣體(ti)的測量和過(guò)程控制而設(she)計✊的。這一系(xi)列傳感器均(jun1)采用本公司(si)自主研發的(de)微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯(xin)片來制作，适(shi)🆚用于各類✏️清(qing)潔氣體。*的封(feng)裝技術使之(zhi)可用于各類(lei)🤩管徑，成本低(di)、易安裝、不需(xū)要溫度壓力(lì)補償，可替代(dai)容積式或壓(ya)差式的傳統(tǒng)流量傳感器(qi)。

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詳細(xi)介紹

産品簡介(jiè)：
FS4001系列小(xiǎo)流量氣體質(zhì)量流量傳感(gan)器是廣州迪(dí)川儀器儀表(biao)有限公司專(zhuān)門爲各類小(xiǎo)流量氣體的(de)測量💰和過程(cheng)控制而設計(jì)的。這🔞一系列(liè)傳感器均采(cai)用本公司自(zì)🏃主研發🔅的微(wēi)機電系統（ MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作(zuo)，适用于各類(lei)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shǐ)之可用于各(gè)類管徑，成本(běn)低、易安裝、不(bú)需要溫度壓(ya)力補👌償，可替(ti)代⛱️容積式或(huò)壓差式的傳(chuan)統流量傳👌感(gan)器。
産品(pin)特點：微小氣(qì)體流量計,MF4001氣(qì)體流量計
- 傳感器靈(ling)敏度高 ,有極小的始(shi)動流量
- 傳感器芯片(pian)采用熱質量(liàng)流量計量 ,無需溫度(du)壓力補償 ,保證了傳(chuán)
- 感器的(de)高精度計量(liàng)
- 在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qi)集成 ,使(shǐ)傳感器的量(liàng)程比大大提(ti)高
- 傳感(gǎn)器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全(quan)量程高精确(què)度和優良的(de)重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快(kuai)
主要參(can)數：

性能(néng)參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
zui大(dà)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量(liang)程比	2132132132131231312100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀數
零(ling)點輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄(piāo)移	±0.12		%/oC
響應(ying)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gong)作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓(yā)損	350	300	pa
zui大工(gōng)作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口(kou)	可拆式(shi)軟管接頭
校準方式(shi)	空氣（或(huo)其他氣體）， 20oC， 101.325kPa
重量(liàng)	15		g