FS4001系(xi)列小流量(liàng)氣體質量(liang)流量傳感(gan)器

産品時(shí)間：2025-12-02

簡要描(miáo)述：

FS4001系列小(xiao)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器是(shi)專門爲各(gè)類🏃‍♀️小流量(liang)🌍氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而設(she)計的。這一(yi)系列傳🏃🏻‍♂️感(gǎn)器均采用(yong)本🌈公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xì)統🈲（MEMS）流量傳(chuan)感芯片🤞來(lai)制作，适用(yong)于各類清(qīng)🔅潔氣體。*的(de)封♉裝技術(shu)使之可用(yòng)于各類管(guǎn)徑🥵，成本低(dī)、易安裝、不(bu)需⭐要溫度(dù)壓力🈲補償(cháng)，可替代容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器🔞。

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産品(pin)簡介：

FS4001系列(liè)小流量氣(qì)體質量流(liu)量傳感器(qì) 是專門爲(wèi)各類小流(liú)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(ér)☂️設計的。這(zhè)一系列傳(chuán)感器均采(cai)用本公司(si)自主研發(fa)的微👈機電(dian)系統🧑🏾‍🤝‍🧑🏼（MEMS）流量(liang)傳感芯片(piàn)來制作，适(shì)用于各類(lèi)清潔氣🐪體(ti)。*的封裝技(jì)術使之可(kě)用于各㊙️類(lei)管徑，成本(běn)低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wen)度壓力補(bǔ)償，可替代(dai)容積式或(huo)💔壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。

産(chan)品特點：

FS4001系列小(xiao)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器 靈(ling)敏度高,有(you)小的始動(dòng)流量傳感(gan)器芯片采(cai)用熱質量(liang)流量計量(liang),無需溫度(dù)壓力補償(cháng),保證了傳(chuán)感器的高(gāo)精☔度計量(liàng)在單個🐪芯(xin)片上實現(xiàn)了多傳感(gǎn)器集成,使(shǐ)傳感㊙️器的(de)量程比大(dà)大提高傳(chuan)感器的零(ling)點穩定度(dù)高全量程(cheng)高穩定性(xing)全量程高(gāo)精确度和(he)優良的重(zhòng)複性低功(gong)🈲耗低壓損(sun)響應時間(jian)快
主要參(cān)數：

性能參(can)數	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點(diǎn)輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc
大流(liú)量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chāi)式軟管接(jiē)頭
校準方(fāng)式	空氣（或(huò)其他氣體(tǐ)），20oC，101.325kPa
重量	15		g

機械(xie)尺寸：

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