FS4001系(xì)列小流量氣(qi)體質量流量(liang)傳感器

産品(pǐn)時間：2025-12-15

FS4001系列小流(liú)量氣體質量(liang)流量傳感器(qi)是專門爲各(ge)類小流量氣(qì)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計的。這一(yi)系列傳感器(qi)均采用本公(gong)司自主研發(fa)的微機電系(xì)統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片🐕來制作(zuo)，适用于各類(lei)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shǐ)之可用于各(ge)類管徑，成本(ben)低、易安裝、不(bú)需要溫度壓(yā)力補償，可替(ti)代容積式或(huò)壓差式的傳(chuan)統🌏流量傳感(gǎn)器。

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詳(xiáng)細介紹

FS4001系列小(xiǎo)流量氣體質(zhì)量流量傳感(gǎn)器 是專門爲(wei)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhì)而設⭐計的。這(zhe)一系列傳感(gǎn)器均采用本(ben)公司自主研(yán)發的微😍機電(diàn)系統（MEMS）流量⛷️傳(chuán)感芯片來制(zhì)作，适用于各(ge)類👉清潔氣✏️體(tǐ)。*的封裝技術(shu)使之可🌈用于(yu)各類管徑，成(cheng)本🚩低、易安裝(zhuang)❤️、不需要溫❗度(dù)壓力補償，可(ke)替代容積式(shi)或壓差式的(de)傳統流量傳(chuán)感器。

産品特(te)點：

FS4001系列(liè)小流量氣體(tǐ)質量流量傳(chuán)感器 靈敏度(dù)高,有小的始(shǐ)動流量傳感(gǎn)器芯片采用(yòng)熱質量流量(liang)計量,無需溫(wen)度壓力補償(cháng),保證了傳感(gan)器的高精⛷️度(dù)計量在👄單個(gè)芯片上實現(xiàn)了多傳感器(qì)集成,使傳感(gǎn)器的量程比(bi)大🥵大提高傳(chuán)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quan)量程高穩定(ding)性全量程高(gāo)精确度和優(you)良的重複性(xìng)低功耗低壓(yā)損響應時間(jiān)快
主要參數(shù)：

性能參數

FS4001

通徑

1.0

500, 1000

量程比

≥100:1

精(jīng) 度

±(1.5+0.2FS)

重複性

%讀(dú)數

零點輸出(chu)飄移

輸出飄(piāo)移

%/oC

響應時間(jian)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

工作電源

輸(shū)出方式

線性(xing)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc

350

大(da)工作壓力

0.5

工(gong)作溫度

-10 ~ +55

存儲(chu)溫度

-20 ~ +65

工作濕(shi)度

<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）

空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa

重(zhong)量

機械尺寸(cùn)：

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FS4001系(xì)列小流量氣(qi)體質量流量(liang)傳感器

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