mf4001廣東(dong)微小口徑氣體(tǐ)質量流量計

産(chan)品時間：2025-12-02

簡要描(miao)述：

mf4001廣東微小口(kǒu)徑氣體質量流(liú)量計是專門爲(wei)各類小流量氣(qi)體的測量和過(guo)程控制而設計(jì)的。這一系列傳(chuán)感器均采用本(běn)公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片(pian)來制作，适用于(yu)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易(yi)安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可(ke)替代容積式或(huò)壓差式的傳統(tǒng)流📧量傳感器。

詳細介紹

mf4001廣(guǎng)東微小口徑氣(qi)體質量流量計(ji) 産品特點(dian)：
- 傳感器靈(ling)敏度高 , 有(yǒu)極小的始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采用熱質(zhì)量流量計量 , 無需溫度壓(yā)力補償 , 保(bao)證了傳
- 感(gan)器的高精度計(ji)量
- 在單個(gè)芯片上實現了(le)多傳感器集成(chéng) , 使傳感器(qì)的量程比大大(da)提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩定(ding)度高
- 全量(liàng)程高穩定性
- 全量程高精(jīng)确度和優良的(de)重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shí)間快

主要參數：

性(xìng)能參數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露）
機械(xiè)接口	可拆式軟(ruan)管接頭
校準方(fāng)式	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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