FS4001系列實(shi)驗室氣體流量(liàng)傳感器

産品時(shi)間：2025-12-02

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産品簡介：

FS4001系(xi)列實驗室氣體(ti)流量傳感器 是專門爲各(gè)類小流量氣體(ti)的測量和過程(chéng)控制而設計的(de)📐。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公(gōng)司自主研發的(de)微㊙️機電系統（ MEMS ）流量傳感芯(xin)片來制作。

FS4001系列(liè)實驗室氣體流(liu)量傳感器 适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑，成(chéng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(li)補償，可替代容(róng)積式或壓差式(shi)的傳統流量傳(chuan)感器。

産品特點：
- 傳感器靈敏度(dù)高 , 有極小(xiao)的始動流量
- 傳感器芯片(pian)采用熱質量流(liu)量計量 , 無(wu)需溫度壓力補(bu)償 , 保證了(le)傳
- 感器的(de)高精度計量
- 在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuán)感器集成 , 使傳感器的量(liang)程比大大提高(gao)
- 傳感器的(de)零點穩定度高(gao)
- 全量程高(gao)穩定性
- 全(quán)量程高精确度(dù)和優良的重複(fú)性
- 低功耗(hao)
- 低壓損
- 響應時間快(kuài)

機械尺寸(cun)：

主要(yào)參數：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀數
零(líng)點輸出飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式	線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結冰、無凝(níng)露）
機械接口	可(kě)拆式軟管接頭(tou)
校準方式	空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g

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