流量(liàng)測量技(jì)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(ti)制造業(yè)、生物工(gōng)程、精細(xi)化工等(děng)的興起(qǐ)，使流👄量(liàng)測量向(xiang)低🆚端延(yán)伸，小流(liú)量計流(liú)量的要(yào)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jie)尚無*的(de)定義和(he)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(ling)域而異(yi)是一個(ge)模📧糊🍉的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liàng)體現于(yu)管徑小(xiao)和流速(sù)㊙️低兩個(gè)層次，就(jiu)🚩流程工(gōng)業而言(yan)，習慣上(shang) DN10 甚(shen)至 DN15 以下管(guǎn)徑流量(liàng)測量稱(chēng)之小流(liú)量測量(liang)，通常其(qí)流量值(zhi)液體爲(wèi) 1L/min 或(huo) 0.06m3/h 以(yi)下，流量(liang)儀表滿(mǎn)度流量(liang)時的流(liú)速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測量(liàng)方法
傳統(tong)小流量(liàng)測量技(ji)術節流(liú)差壓 ( 層流(liú) ) 法(fǎ)、浮子法(fǎ)和容積(jī)法等有(you)了的改(gai)進，新測(ce)量技術(shù)如超⛱️聲(shēng)法、熱法(fǎ)、科裏奧(ào)利法等(deng)也有成(chéng)效地應(ying)于液體(ti)👌和氣體(ti)小流量(liang)測量。
2 、特點(dian)
微(wēi)小流量(liang)與一般(ban)流量測(cè)量相比(bi)較，具有(yǒu)以下特(tè)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guan)道流動(dong)均爲紊(wen)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shì)針對紊(wen)流流動(dong)态📞設計(ji)的，而小(xiao)流量儀(yi)表因管(guan)徑小常(cháng)處于層(céng)✌️流流✂️動(dòng) ( 例(li)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wěn)流過渡(du)區流态(tài)流動，小(xiǎo)流量測(ce)量受使(shi)用中流(liú)體黏度(du)變化影(ying)響頗大(da)。
2) 要(yao)用實際(ji)使用流(liu)體校準(zhun)
液(yè)體流量(liàng)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qì)體用空(kōng)氣校準(zhun)。若知❗道(dào)實際測(cè)量流體(tǐ)與校準(zhun)流體間(jiān)某些物(wù)性不同(tong)✌️對示值(zhi)有規律(lǜ)變化時(shi)，中👣大管(guan)徑流量(liàng)儀表常(chang)以适當(dang)系數✂️修(xiu)正。但有(yǒu)些小流(liu)量儀表(biǎo)受黏度(du)等流體(ti)物性影(yǐng)響大，須(xu)以實際(ji)使用流(liu)體🤩校準(zhun)。所幸流(liu)量小，用(yong)🤩實際使(shǐ)用流體(tǐ)校準難(nan)度♊不大(dà)，但在作(zuò)有害性(xìng)流體校(xiào)準時應(yīng)注意安(an)全和環(huan)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liang)時防止(zhi)污染流(liú)體
若測量(liàng)潔淨氣(qì)體和純(chun)水常不(bú)允許接(jiē)觸流體(ti)的儀♌表(biǎo)零♉件材(cái)料析出(chū)離子，例(lì)如半導(dǎo)體制備(bei)中儀表(biǎo)不能用(yòng)金屬和(hé)玻璃制(zhì)成，隻能(néng)用塑料(liào)。流體中(zhong)也不允(yǔn)許混入(ru)活動件(jiàn)👌的磨蝕(shi)塵粒。流(liú)量儀表(biao)💃流通通(tōng)道要盡(jin)可能簡(jiǎn)單，不應(yīng)有潴留(liu) ( 指(zhi)液體在(zài)體内不(bú)正常地(dì)聚集停(ting)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liu)介質變(biàn)質。
4) 氣泡和(he)塵埃附(fu)着的影(yǐng)響
因管徑(jìng)小黏性(xìng)增加，液(ye)體中微(wei)細氣泡(pào)易在管(guǎn)系流動(dong)過程中(zhong)積✏️聚變(bian)大，使測(ce)量時指(zhi)示不穩(wen)，度下降(jiàng)。流體中(zhōng)塵埃附(fu)着✉️測量(liàng)元件也(ye)要影響(xiǎng)測量值(zhi)，例如浮(fu)子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chén)積有肉(ròu)眼覺察(cha)不出的(de)附着層(céng)也會影(ying)響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biǎo)品種使(shi)用上受(shou)到一定(dìng)限制
在衆(zhōng)多測量(liang)原理流(liu)量儀表(biao)中，因各(ge)種原因(yīn)小流量(liang)應用🤟受(shou)到一些(xie)限制，當(dāng)前能應(yīng)用于小(xiǎo)流量的(de)品種如(rú)表格所(suǒ)示