流(liu)量測量技(jì)術之 微小流量(liang) 的測(cè)量     
半(ban)導體制造(zao)業、生物工(gong)程、精細化(huà)工等的興(xing)起，使流量(liang)測量向低(di)🔴端延伸，小(xiao)流量計流(liu)量的要求(qiú)在上世紀(ji) 80 ∽ 90 年代凸顯(xian)起來。何謂(wèi)小流量 ? 業界尚(shàng)無*的定義(yì)和界限，小(xiao)流量因應(yīng)用領域而(er)異是一個(gè)🌈模糊的概(gài)念。管道小(xiǎo)流量測量(liàng)體現于管(guǎn)徑小和流(liú)速低兩個(gè)層次，就流(liú)程工業而(er)言，習慣上(shang) DN10 甚至(zhì) DN15 以下(xià)管徑流量(liang)測量稱之(zhī)小流量測(cè)量，通常其(qí)流量值液(yè)體🥵爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀(yí)表滿度流(liú)量時的流(liú)速低于 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小(xiǎo)流量測量(liang)技術節流(liu)差壓 ( 層流 ) 法、浮子法(fa)和容積法(fǎ)等有了的(de)改進，新測(cè)量技術如(rú)👉超聲法、熱(rè)法、科裏奧(ao)利法等也(yě)有成效地(di)應于液體(tǐ)和氣體小(xiǎo)流量測量(liang)。
2 、特點(diǎn)
微小(xiao)流量與一(yī)般流量測(ce)量相比較(jiào)，具有以下(xia)特點。
1) 雷諾數低(di)
一般(ban)管道流動(dòng)均爲紊流(liu)流動，流量(liàng)儀表也是(shi)針對紊流(liu)㊙️流動态🔞設(shè)計的，而小(xiao)流量儀表(biao)因管徑小(xiao)常處于層(céng)流流🌐動 ( 例如管(guan)内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liú) / 紊流(liu)過渡區流(liu)态流動，小(xiao)流量測量(liàng)受使用中(zhōng)流體黏度(du)㊙️變化影響(xiang)頗大。
2) 要用實際(jì)使用流體(tǐ)校準
液體流量(liang)儀表一般(bān)用水校準(zhǔn)，氣體用空(kōng)氣校準。若(ruo)💁知道實際(jì)測量流體(ti)與校準流(liú)體間某些(xiē)物性不同(tóng)對示值有(yǒu)規律變化(huà)時，中大管(guan)徑流量儀(yi)表常以适(shi)當系數修(xiu)正。但有些(xie)小流量儀(yí)表受黏度(dù)等流體物(wù)性影響大(dà)，須以實際(ji)使用流體(tǐ)校準。所幸(xìng)流量小，用(yòng)🔆實際使用(yong)流🏃體校準(zhǔn)難度不大(da)，但在作有(yǒu)害性流體(ti)📞校準時應(yīng)注👌意安全(quan)和環境污(wū)染。
3) 要(yao)求測量時(shí)防止污染(rǎn)流體
若測量潔(jie)淨氣體和(hé)純水常不(bu)允許接觸(chù)流體的儀(yi)表零件材(cái)料析出離(li)子，例如半(bàn)導體制備(bèi)中儀表不(bu)能用♋金屬(shǔ)和玻璃制(zhi)成，隻能用(yong)塑料。流體(tǐ)中也不允(yǔn)許混入活(huó)動件的磨(mo)蝕塵粒。流(liú)量儀表流(liú)通通道要(yao)🔱盡可能簡(jian)單，不應有(yǒu)潴留 ( 指液體在(zai)體内不正(zheng)常地聚集(ji)停留 ) 部位，防止(zhi)潴留介質(zhì)變質。
4) 氣泡和塵(chén)埃附着的(de)影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加(jia)，液體中微(wei)細氣泡易(yi)在管系流(liú)💁動過♊程中(zhong)積聚變大(dà)，使測量時(shí)指示不穩(wěn)，度下降。流(liu)體中🆚塵埃(āi)附着測量(liàng)元件也要(yao)影響測量(liàng)值，例如浮(fu)子流量🥰計(ji)的浮子上(shàng)沉積有肉(ròu)眼覺察不(bú)出的附着(zhe)層也會影(yǐng)💜響示值。
5) 流量儀(yí)表品種使(shǐ)用上受到(dao)一定限制(zhì)
在衆(zhōng)多測量原(yuán)理流量儀(yí)表中，因各(ge)種原因小(xiao)流量應用(yòng)受到一些(xie)限制，當前(qián)能應用于(yú)小流量的(de)品種如表(biǎo)格所示